��ࡱ� > �� � � ���� � � � � � � � � � � �������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������� 5@ �R� �Z bjbj�2�2 VT �X �X � � �� �� �� � 4 4 4 4 � � � � �4 �4 �4 �4 � �5 \ � z� � <6 � �6 �6 �6 �6 #L #L #L Ɏ ˎ ˎ ˎ ˎ ˎ ˎ $ N� R �� Z � E � #L �I z #L #L #L � 4 4 �6 �6 � 4� �Q �Q �Q #L f 4 8 �6 � �6 Ɏ �Q #L Ɏ �Q �Q �Q � ~ l l � c� �6 06 ��5�� �4 �M � * ō J� 0 z� � � �� �O �� T c� � � 4 4 4 4 c� � �� � � � #L #L �Q #L #L #L #L #L � � � � $ � $ �Q � � � L C - 1 0 0 �WpeW[S5u�zf���c6R�m�vr�1��N�{�N Nwm O0N�yf[�NhV gP�lQ�Su�N�vL C - 1 0 0 �|RpeW[S5u�zf���c6RؚHe�m�vr�1��|�~/f N>k�� gyrr��v�V�Nr�1��N0�N�NhV�vT�eb�egw�vQ5uP[�b/g0����N�v�R�]�]z�0�Q�:g�h�~�g0Yb_����0�]\O�zo��N�v�R����b/gch�SvQ(�ϑ�v3z�[�S`�'`�]��Ǐ�V�Qu�N�S�~ň�v�u��g�NAmL��v�VY�TLr:g�y0 ��NhV�v�V�NS�s�]��9 0 % �N N�/f N�Swck�v�V�Q�;Nx�Su�N�v�m�vr�1��|�~0 L C - 1 0 0 �m�vr�1��N�v�W,gM�n�YN� 1 0L C - U V 1 0 0 +}Y�hKmhV� 2 0L C - P 1 0 0 ؚ�SR`Am�l� 3 0L C - W S 1 0 0 zf��r�1��]\O�z0 �|�~�vY�V�YN� I{�^M�n� �h�^M�n� Nb�R N*N�eb�eg�N�~� N0L C - P 1 0 0 �Wؚ�SR`Am�l� Yb_�V� 2 0�Q��~�g�V� 3 0�]\O�St�V� 4 0�N�Tyr�p� L C - P 1 0 0 ؚ�SR`Am�l/f�_YthVzf���c6R�v�_ Y_�S�g^Xv^T��l�wQ g�]\O�S�Rؚ� ��R\03z�[�S`���d\O�e�OI{yr�p01u�N�S�l4Y�N�f���m�(WT7h���mϑ�v�`�QN�;m^XFg�T�[\W�[}T���k8^ĉ2NT��l� N P0 �l�v:g�h�~�NGWǑ(u5u����R����0T;N������NGW(WNLuHQۏ�vpe�c�R�]-N�_6R �0�VdkwQ g�R�]�|nx�^ؚ��lSO�[\'`��}Y����N�v�Nbc'`}YI{yr�p0 �g^XFgǑ(unm�R�[T�~�g�q��R�Qn�1uؚ:_�^Tё��6R �0Ǒ(u�_YthV�c6R�_ekq��R5u��Oq��R�lЏL��vekۏ5u:gЏL�s^3z�jV�XNO���^�����V'Y0�S�n��8^ĉR�g0R�_AmϑR�g�v ���0 (WUS�lI{�^R�g�e��S9hnc��NhV NhQIlW[>f:y�mvfO\�v�c:y��S��Ǐ�V*N�R��.�1\�S�SbcT�y�d\O!j_�v^N�S�N�e�O�v��nAmϑ0�S�R NNP�0c�~�]\O�e����S�RUSMOI{�Spe0 L C - P 1 0 0 ؚ�SR`Am�lwQ gǏz�vKm�R��0�_YthV�[�e�c6R�l�vAmϑ�T�hKm���m�S�R0(W�S�R��P��v�`�QN��bf�v^ꁨR\Pbk�l�vЏL�0 L C - P 1 0 0 ؚ�SR`Am�lteSO�~�gǑ(u!jWWS�����S�b:g�h�R�T5u��R���S�N�r�zň�b��VdkEe���h�g�T�bc��^�8^�e�O0 UST �1u ���SO0�[�wt�^�T�[�wt�gb N*NteSO�~�g�EewQ g�~�g�{US0�[\'`��}Y�vO�p��cؚ�Nؚ�SR`Am�l�vAmϑ�|nx�^�S�m�vr�1�R�g�|�~�vKmՋ�|�^�v^wQ g�[ň�fbc�e�OI{yr�p0 N)R�N�T�UST � 5 0�W,g�b/gch� 5 . 1 0Amϑ��V�0 . 0 0 1 ^�9 . 9 9 9 m l / m i n �N0 . 0 0 1 m l / m i n ek����Amϑ0 5 . 2 0Amϑ�|nx�^�R S D \�N� 0 . 1 5 % ( 1 m l / m i n ) 5 . 3 0Amϑ�Qnx�^�S s \�N� 2 % �1 m l / m i n 4l�5 ^�1 0 M P a �[)n � 5 . 4 0 gؚ�]\O�S�R�4 2 M P a ( 0 . 0 0 1 ~ 9 . 9 9 9 m l / m i n ) 5 . 5 0�S�R�~'`�T�Qnx�^�>f:y�S�R��]\�N� 0 . 5 M P a ( 0 ~ 4 2 M P a ) 5 . 6 0�S�R ��R�\�N0 . 2 M P a ( Amϑ1 m l / m i n , �S�R5 ~ 1 0 M P a ) 5 . 7 0�l�v�[\'`��S�R:N4 2 M P a , �e��:N1 0 m i n , �S�RM� \�N0 . 5 M P a . 5 . 8 0Y�W:\�[�4 5 0 m m � 3 0 0 m m � 1 6 0 m m ( �� �[� ؚ) �N0L C - U V 1 0 0 +}Y�hKmhV 1 0Yb_�V� 2 0�Q��~�g�V� 3 0�]\O�St�V� 4 0�N�Tyr�p� �V�Q��R�vpeW[�Nbc�|�~��hKmhV�e �!j�bpeW[l�bc1\�S\�hKmpenc��L C - W S 1 0 0 �]\O�z��MQ�N N,�+}Y�hKmhV�vr�1��O�S �Y͑pexl�bc&^eg�v�O�Sxu�SNr^pb0 Ǒ(u�Ns^L��v�S%�T[Am�`l0%�T[Am�`l�S�N(WT7h�v`lSO�y�`�QN��S�_ g'Y�vIQ��ϑ01u�N%�T[�Q�XǑ(u�N\�b��xJR�]z��'Y'YM�NO�NBgceIQ�v�S\0 �Sgq`lN7h�T`l(WIQ� N0�m� N05u� NǑ(u�N�[hQ�[�y�v�~�gb__� gHe0WM�NO�N�O�S�vjV�No�y0 IQ��|�~Ǒ(u�N�|�[�[MO�~�g��|�^ؚ�OP�]\0lopIQ��|�~Ǒ(u�p���y�b/g�)�w�N�NhV�v3z�[�e���v^NOlop�v�S�p�[IQ��S�mvq_�TM�0R gNO0 MRn>e'YhVǑ(uؚ;��b0NOo�y�v�NhV>e'YhV�ؚR���s�v A / D l�bchV0(W8^ĉR�g�`�QN��R`��V�S�� 1 0 6 ��O���N�[peЏ�{�v�|�^0 7h�T`lN�Sgq`lIQ:_�^�O�S�~ A / D l�bcT��v�c(upeW[�O�S�~R S 2 3 2 �c�S�L C - W S 1 0 0 �]\O�z��MQ�N N,�+}Y�hKmhV�vr�1��O�S �Y͑pexl�bc&^eg�v�O�Sxu�SNr^pb0 +}Y�hKmhV�v�_��Am�`l Am�`lSO�y: 8 �L IQz: 8 m m 5 0�W,g�b/gch� �l���V�1 9 0 �6 0 0 n m 0 IQ1�&^�[�8 n m 0 �W�~jV�X�d"5 � 1 0 �5 A U �\ ��\